ソフトコンタクト、プロキシミティ露光に対応する手動アライメント露光装置です。

高精度のアライメントが可能で、実験や少量多品種生産に適しています。

紫外線積算光量計を内蔵しており、照射時間や積算光量に合わせた照射パターンの設定が容易にできます。

またオプションのフィルターを装着することにより、波長選択をすることも可能です。